Victor E. Borisenko
Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices Victor E. Borisenko Softcover reprint of the original 1st ed. 1997 edition

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices
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Author: Victor E. Borisenko

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1997 edition

(1997) $ 231,49

Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices

Victor E. Borisenko

Softcover reprint of the original 1st ed. 1997 edition

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.

384 pages, black & white illustrations

Medios de comunicación	Libros Paperback Book (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado	20 de junio de 2013
ISBN13	9781489918062
Editores	Springer-Verlag New York Inc.
Páginas	358
Dimensiones	155 × 235 × 20 mm · 535 g
Lengua	Inglés