Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices - Victor E. Borisenko - Libros - Springer Science+Business Media - 9780306450549 - 31 de mayo de 1997
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Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices 1997 edition

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Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.


358 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 31 de mayo de 1997
ISBN13 9780306450549
Editores Springer Science+Business Media
Páginas 358
Dimensiones 178 × 254 × 26 mm   ·   870 g
Lengua Inglés  

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