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Manufacturable Process / Tool for High-k / Metal Gate: Dielectric Stacks for Sub-45 Nm Cmos Aarthi Venkateshan
Manufacturable Process / Tool for High-k / Metal Gate: Dielectric Stacks for Sub-45 Nm Cmos
Aarthi Venkateshan
High-k/Metal Gate technology
| Medios de comunicación | Libros Paperback Book (Libro con tapa blanda y lomo encolado) |
| Publicado | 6 de noviembre de 2008 |
| ISBN13 | 9783836481564 |
| Editores | VDM Verlag Dr. Müller |
| Páginas | 204 |
| Dimensiones | 150 × 220 × 10 mm · 281 g |
| Lengua | Inglés |