Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon - Springer Theses - Janusz Bogdanowicz - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642426865 - 17 de julio de 2014
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Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon - Springer Theses 2012 edition

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Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology.


204 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 17 de julio de 2014
ISBN13 9783642426865
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 204
Dimensiones 155 × 235 × 12 mm   ·   326 g
Lengua Inglés  

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