Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon - Springer Theses - Janusz Bogdanowicz - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642301070 - 28 de junio de 2012
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Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon - Springer Theses 2012 edition

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Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology.


220 pages, 51 black & white illustrations, 23 colour illustrations, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 28 de junio de 2012
ISBN13 9783642301070
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 204
Dimensiones 155 × 235 × 18 mm   ·   453 g
Lengua Francés  

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