Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642099397 - 19 de octubre de 2010
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Gerhard Franz
Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2009 edition

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Over the last forty years, plasma supported processes have attracted ever - creasing interest, and now, all modern semiconductor devices undergo at least one plasma-involved processing step, starting from surface cleaning via coating to etching.

732 pages, black & white illustrations

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 19 de octubre de 2010
ISBN13 9783642099397
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 732
Dimensiones 155 × 235 × 38 mm   ·   1,04 kg
Lengua Inglés  

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