Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540858485 - 30 de abril de 2009
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Gerhard Franz
Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology 2009 edition

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Over the last forty years, plasma supported processes have attracted ever - creasing interest, and now, all modern semiconductor devices undergo at least one plasma-involved processing step, starting from surface cleaning via coating to etching.

732 pages, 1, black & white illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 30 de abril de 2009
ISBN13 9783540858485
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 732
Dimensiones 155 × 235 × 39 mm   ·   1,23 kg
Lengua Inglés  

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