Ion Implantation and Synthesis of Materials - Michael Nastasi - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540236740 - 9 de agosto de 2006
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Michael Nastasi
Ion Implantation and Synthesis of Materials 2006 edition

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Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials.

263 pages, 131 black & white illustrations, 10 black & white tables, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 9 de agosto de 2006
ISBN13 9783540236740
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 263
Dimensiones 242 × 165 × 27 mm   ·   517 g
Lengua Inglés   Alemán  

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