The Physics of Submicron Lithography - Microdevices - Kamil A. Valiev - Libros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461364610 - 27 de septiembre de 2012
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Kamil A. Valiev
The Physics of Submicron Lithography - Microdevices Softcover reprint of the original 1st ed. 1992 edition

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In this method the device is imaged as a pattern on a metal film that has been deposited onto a transparent substrate and by means of a broad stream of light is transferred to a semiconductor wafer within which the physical structure of the devices and the integrated circuit connections are formed layer by layer.

493 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 27 de septiembre de 2012
ISBN13 9781461364610
Editores Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 493
Dimensiones 178 × 254 × 26 mm   ·   870 g
Lengua Inglés  

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