Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology - A.j. Van Roosmalen - Libros - Springer Science+Business Media - 9780306438356 - 31 de marzo de 1991
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A.j. Van Roosmalen
Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology 1991 edition

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This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.

254 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 31 de marzo de 1991
ISBN13 9780306438356
Editores Springer Science+Business Media
Páginas 237
Dimensiones 178 × 254 × 19 mm   ·   666 g
Lengua Inglés  

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