Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Systems - Van Nostrand Reinhold Electrical / Computer Science and Engineering Series - Guy Rabbat - Libros - Springer - 9789401170581 - 24 de junio de 2012
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Guy Rabbat
Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Systems - Van Nostrand Reinhold Electrical / Computer Science and Engineering Series Softcover reprint of the original 1st ed. 1988 edition

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Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is a technique widely accepted in microelectronics for the deposition of amorphous dielectric films such as silicon nitride and silicon oxide. Batch etching reactors and etching processes are approaching ma turity after more than ten years of development.

942 pages, 202 black & white illustrations

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 24 de junio de 2012
ISBN13 9789401170581
Editores Springer
Páginas 942
Dimensiones 155 × 235 × 48 mm   ·   1,32 kg
Lengua Inglés  

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