Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science - Klaus Graff - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642629655 - 21 de octubre de 2012
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Klaus Graff
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science 2nd ed. 2000. Softcover reprint of the original 2n edition

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This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

270 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 21 de octubre de 2012
ISBN13 9783642629655
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 270
Dimensiones 155 × 235 × 16 mm   ·   412 g
Lengua Inglés  

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