Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS - Stephanus Buttgenbach - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642129025 - 10 de marzo de 2011
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Stephanus Buttgenbach
Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS 2011 edition

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This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle.

456 pages, 319 black & white illustrations, 33 colour illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 10 de marzo de 2011
ISBN13 9783642129025
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 444
Dimensiones 155 × 235 × 30 mm   ·   748 g
Lengua Francés  
Editor Burisch, Arne
Editor Buttgenbach, Stephanus
Editor Hesselbach, Jurgen

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