Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing - Takeshi Hattori - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642082726 - 7 de diciembre de 2010
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Takeshi Hattori
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing Softcover reprint of hardcover 1st ed. 1998 edition

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This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.

648 pages, 345 black & white illustrations, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 7 de diciembre de 2010
ISBN13 9783642082726
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 616
Dimensiones 155 × 235 × 36 mm   ·   934 g
Lengua Alemán  
Traductor Hattori, T.
Traductor Heusler, S.
Traductor Webb, J.P.

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