Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing - Hattori - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540616726 - 17 de septiembre de 1998
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Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing 1998 edition

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This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.


616 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 17 de septiembre de 1998
ISBN13 9783540616726
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 616
Dimensiones 140 × 216 × 39 mm   ·   1,12 kg
Traductor Hattori, T.
Traductor Heusler, S.
Traductor Webb, J.P.

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