Optical Inspection of Microsystems, Second Edition - - Libros - Taylor & Francis Inc - 9781498779470 - 25 de junio de 2019
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Optical Inspection of Microsystems, Second Edition 2.º edición

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This book provides an up-to-date survey of the most important and widely used full-field optical metrology and inspection technologies. Techniques such as interference microscopy, laser Doppler vibrometry, holography, speckle metrology, spectroscopy and deflectrometry and digital holographic microscropy for the inspection of MEMS.

600 pages, 32 Illustrations, color; 525 Illustrations, black and white

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 25 de junio de 2019
ISBN13 9781498779470
Editores Taylor & Francis Inc
Páginas 570
Dimensiones 262 × 188 × 30 mm   ·   1,38 kg
Lengua Inglés  
Editor Osten, Wolfgang (Universitat Stuttgart, Germany)

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