Chemical Vapor Deposition: Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials - Srinivasan Sivaram - Libros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781475747539 - 22 de junio de 2013
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Srinivasan Sivaram
Chemical Vapor Deposition: Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials Softcover reprint of the original 1st ed. 1995 edition

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Later Van Nostrand agreed to publish my book as a text intended for students at the senior/first year graduate level and for process engineers in the microelectronics industry, This book is not intended to be bibliographical, and it does not cover every new material being studied for chemical vapor deposition.

304 pages, 143 black & white illustrations, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 22 de junio de 2013
ISBN13 9781475747539
Editores Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 292
Dimensiones 155 × 235 × 17 mm   ·   435 g
Lengua Inglés  

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