Atomic Layer Deposition for Semiconductors - Cheol Seong Hwang - Libros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461480532 - 19 de octubre de 2013
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Cheol Seong Hwang
Atomic Layer Deposition for Semiconductors 2014 edition

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Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.

300 pages, 89 black & white illustrations, 81 colour illustrations, 3 black & white tables, 1 colour

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 19 de octubre de 2013
ISBN13 9781461480532
Editores Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 263
Dimensiones 155 × 235 × 20 mm   ·   521 g
Lengua Inglés  
Editor Hwang, Cheol Seong

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