Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS - Wasa, Kiyotaka (Matsushita Electric, Ltd. and Yokohama City University, Japan) - Libros - William Andrew Publishing - 9781437734836 - 20 de noviembre de 2012
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Wasa, Kiyotaka (Matsushita Electric, Ltd. and Yokohama City University, Japan)
Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS 2.º edición

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Faetures a team of contributing authors with backgrounds specializing in the various new applications of sputtering technology. This book introduces the fundamentals of thin films and sputtering deposition, explores the theory and practices of this field, and also covers new technology such as nano-functional materials and MEMS.

658 pages, black & white illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 20 de noviembre de 2012
ISBN13 9781437734836
Editores William Andrew Publishing
Páginas 660
Dimensiones 239 × 163 × 40 mm   ·   1,04 kg
Lengua Inglés  

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