Metrology, Inspection and Process Control for Microlithography XVII (Proceedings of SPIE) - Herr - Libros - SPIE Press - 9780819448439 - 30 de junio de 2003
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Metrology, Inspection and Process Control for Microlithography XVII (Proceedings of SPIE)

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1296 pages

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 30 de junio de 2003
ISBN13 9780819448439
Editores SPIE Press
Páginas 1296
Dimensiones 150 × 220 × 10 mm   ·   2,14 kg   (Peso (estimado))

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