Electron-Beam X-Ray Euv and Ion-Beam Submicrometer Lithographies For Manufacturing Vi- - Seeger - Libros - SPIE Press - 9780819420992 - 31 de mayo de 1997
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Seeger
Electron-Beam X-Ray Euv and Ion-Beam Submicrometer Lithographies For Manufacturing Vi-

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420 pages

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 31 de mayo de 1997
ISBN13 9780819420992
Editores SPIE Press
Páginas 420
Dimensiones 150 × 220 × 10 mm   ·   697 g   (Peso (estimado))

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