Silicon Micromachining - Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering - Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands) - Libros - Cambridge University Press - 9780521607674 - 19 de agosto de 2004
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Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands)
Silicon Micromachining - Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering

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This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. It is a blend of detailed experimental and theoretical material, and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS).

420 pages, 388 b/w illus. 20 tables

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 19 de agosto de 2004
ISBN13 9780521607674
Editores Cambridge University Press
Páginas 420
Dimensiones 188 × 247 × 27 mm   ·   808 g
Lengua Inglés  
Editor de series Ahmad, Haroon
Editor de series Broers, Alec
Editor de series Pepper, Michael

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