Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS - Varadan, Vijay K. (Pennsylvania State University, PA) - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9780471521853 - 30 de marzo de 2001
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Varadan, Vijay K. (Pennsylvania State University, PA)
Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS

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Focusing on microstereolithography and other microfabrication for 3D MEMS, this volume discusses the principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices. It provides an account of the developments in related microfabrication and combined architecture techniques, illustrating their application in the engineering field.

274 pages, Ill.

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 30 de marzo de 2001
ISBN13 9780471521853
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 274
Dimensiones 160 × 232 × 21 mm   ·   530 g
Lengua Inglés  

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