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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals.
432 pages, illustrations, bibliography, index
| Medios de comunicación | Libros Hardcover Book (Libro con lomo y cubierta duros) |
| Publicado | 25 de septiembre de 1980 |
| ISBN13 | 9780471078289 |
| Editores | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 432 |
| Dimensiones | 241 × 163 × 31 mm · 743 g |
| Lengua | Inglés |
