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Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - Wiley-Scrivener KA Reinhardt
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Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - Wiley-Scrivener
KA Reinhardt
This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.
590 pages, Illustrations
| Medios de comunicación | Libros Hardcover Book (Libro con lomo y cubierta duros) |
| Publicado | 4 de febrero de 2011 |
| ISBN13 | 9780470625958 |
| Editores | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 614 |
| Dimensiones | 263 × 185 × 43 mm · 1,28 kg |
| Lengua | Inglés |
| Editor | Reidy, Richard F. |
| Editor | Reinhardt, Karen A. |
