Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications - Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan) - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9780470016084 - 26 de enero de 2007
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Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan)
Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications

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Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE).

388 pages, Illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 26 de enero de 2007
ISBN13 9780470016084
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 392
Dimensiones 157 × 235 × 26 mm   ·   762 g
Lengua Inglés  

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