Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Libros - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15 de abril de 1993
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Fair
Rapid Thermal Processing: Science and Technology

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Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.

430 pages

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 15 de abril de 1993
ISBN13 9780122476907
Editores Elsevier Science Publishing Co Inc
Páginas 430
Dimensiones 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Editor Fair, Richard B.

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