Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE) - Singh - Libros - SPIE Press - 9780819431516 - 30 de junio de 1999
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Singh
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)

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1052 pages, illustrations

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 30 de junio de 1999
ISBN13 9780819431516
Editores SPIE Press
Páginas 1052
Dimensiones 150 × 220 × 10 mm   ·   1,74 kg   (Peso (estimado))

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